Leybold真空計(jì)的量程范圍

Leybold真空計(jì)的量程范圍東莞艾科自動化設(shè)備關(guān)于它的在較高壓力時(shí)(10～1Pa)利用壓力差U型管壓力計(jì)，麥克勞真空計(jì)，薄膜計(jì)，彈簧管壓力計(jì)等 。在10～10Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo)，粘性)的變化而做成的皮氏計(jì)、粘性真空計(jì)。在低壓力時(shí)，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計(jì)。表2 真空計(jì)的適用壓力范圍 真空計(jì)的名稱可測的壓力范圍(Pa)水銀壓力計(jì)(U型管)10～10油壓力計(jì)(U型管)10～10油壓力計(jì)(U型管)3*10～1麥克勞真空計(jì)(一般型和特殊型) 10～10彈性不變形真空計(jì)10～10隔膜真空計(jì)(機(jī)械式)10～10隔膜真空計(jì)(電氣式)10～10電離真空計(jì)(三極管型)10～10超高真空用B-A型10～10極高真空用熱陰極磁控計(jì)10～10高真空用(舒爾茨型)10～10冷陰極真空計(jì)1～10皮拉尼真空計(jì)10～10熱電偶真空計(jì)10～10熱敏電阻真空計(jì)10～10粘性真空計(jì)1～10克努曾真空計(jì)10-1～10萊寶真空計(jì)TTR91S，萊寶TTR91S真空計(jì)，TTR91S萊寶真空計(jì)，真空規(guī)管，皮拉尼計(jì)Oerlikon真空計(jì)Leybold真空計(jì)的量程范圍按照Oerlikon真空計(jì)測量原理所利用的不同的物理機(jī)制，可將主要的真空計(jì)分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。 如右圖所示，細(xì)的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象，會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應(yīng)的氣壓值。這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。 如右圖所示，在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的不變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。這種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學(xué)性能的影響，使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時(shí)。 也叫做熱電阻真空計(jì)，它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的。如右圖所示，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同，當(dāng)給熱絲加恒定的電流時(shí)，由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。如果配合電橋測量熱絲電阻的變化，將有效提高測量的準(zhǔn)確度。這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。由于不同氣體在相同氣壓時(shí)導(dǎo)熱性不同，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。 如右圖所示，熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。與皮拉尼電阻規(guī)一樣，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。 如右圖所示，熱陰極電離規(guī)中，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，由收集極收集產(chǎn)生的離子，形成離子電流，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進(jìn)而得到氣壓大小。Leybold真空計(jì)的量程范圍德國萊寶真空計(jì)有：- 用于測量粗真空的各種工作原理的機(jī)械指針式真空表。- 各種間接測量的數(shù)顯真空規(guī)，它們是：- 熱電阻真空規(guī)(皮拉尼規(guī)) TTR91、TTR91S、TTR96、TTR96S- 冷陰極電離真空規(guī)(潘寧規(guī)) PTR225- 薄膜電容規(guī) CTR100、CTR91- 薄膜/皮拉尼復(fù)合規(guī) TTR100、TTR100S- 冷陰極電離/皮拉尼復(fù)合規(guī) PTR90- 熱陰極電離/皮拉尼復(fù)合規(guī) ITR90- 便攜式真空表TM90、TM100- 新型Center和Display系列真空計(jì)

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